专利名称：一种柔性压电式的三维触觉传感器阵列专利类型：实用新型专利
发明人：刘玉荣,林峰,姚若河,耿魁伟申请号：CN201821843012.0申请日：20181109公开号：CN209117220U公开日：20190716
摘要：本实用新型公开了一种柔性压电式的三维触觉传感器阵列，其结构包括从上至下依次连接的PDMS半球形凸起层、上电极层、纳米结构压电薄膜层、下电极层、印刷电路板柔性基底层；所述纳米结构压电薄膜层为ZnO纳米线压电敏感膜，且位于呈阵列图案化分布的上下电极层之间，形成多个压电敏感单元；所述三维触觉传感器阵列由M×N个相互分离的传感器单元构成，每个传感器单元含一个PDMS半球形凸起和三个压电敏感电容，PDMS半球形凸起将三维接触力传递至三个压电敏感电容，通过三个压电敏感电容产生电荷的大小以测量外界三维接触力。本实用新型具有三维接触力测量、高灵敏度、高柔韧性、动态响应好的优点。
申请人：华南理工大学
地址：510640 广东省广州市天河区五山路381号
国籍：CN
代理机构：广州市华学知识产权代理有限公司
代理人：李斌
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