一种面板行业铜制程用新型剥离液

（12）发明专利说明

（21）申请号 CN201711191068.2 （22）申请日 2017.11.24

（71）申请人 江苏中德电子材料科技有限公司

地址 214434 江苏省无锡市江阴市高新区科达路33号

（10）申请公布号 CN107942625B

（43）申请公布日 2019.12.10

书

（72）发明人 戈烨铭

（74）专利代理机构 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙)

代理人 隋玲玲

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种面板行业铜制程用新型剥离液

（57）摘要

本发明涉及一种TFT行业铜制程用高回收

率环保型剥离液，包括如下质量百分比的成分，醇类1%‑2%，醚类40%‑50%、混胺类3%‑8%、低沸点有机溶剂40%～50%、缓蚀剂1%～5%、非离子型表面活性剂1%～5%和余量为纯水。该剥离液剥离速度适中，在1000倍显微镜下，剥离后的晶圆表面无光刻胶残留；10000倍显微镜下，对铜金属层几乎没有腐蚀。本发明采用醇类、醚类混合使用加强去胶能力，结合混胺类物质，增强铜金属抗

腐蚀性能；但是常规的胺类物质用量加大，会加大铜金属的腐蚀，本申请中采用联胺类物质，即（盐酸联胺、一水联胺）组合使用结合其它胺类物质，可提高去胶能力，加强铜金属的保护，且由于联胺组合物极易溶于水，去除便捷，可减少唑类物质加入，较少添加剂残留。

法律状态

法律状态公告日2018-04-20 2018-04-20 2018-04-20 2018-05-15 2018-05-15 2019-12-10

法律状态信息

公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

法律状态

公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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说明书

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