（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201710078029.5 （22）申请日 2017.02.14 （71）申请人 得八益十意恩至
地址 韩国忠清南道牙山市阴峰面阴峰路169
（10）申请公布号 CN108253733A
（43）申请公布日 2018.07.06
（72）发明人 尹沧老;崔奉镇
（74）专利代理机构 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 李柱天
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
减压干燥装置和方法
（57）摘要
本发明的减压干燥方法包括步骤：将待处
理对象装载到干燥室；关闭干燥室；将干燥气体提供到干燥室，同时通过低于大气压的第一减压压力第一次将干燥室内部排气和减压；当清洗溶液完全被凝结在待处理对象表面的干燥气体替代时，停止提供干燥气体；第二次将干燥室的内部排气和减压；停止第二次排气和减压步骤，并将空气或惰性气体提供到干燥室；从干燥室卸载待处理对象。
法律状态
法律状态公告日
2018-07-06 2018-07-06 2018-07-31
公开 公开
实质审查的生效
法律状态信息
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法律状态
实质审查的生效
权利要求说明书
减压干燥装置和方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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