专利名称：分割装置专利类型：发明专利发明人：服部笃,植木笃申请号：CN201811550001.8申请日：20181218公开号：CN110010522A公开日：20190712
摘要：提供分割装置，能够抑制在加热时从扩展片产生的产生气体的成分附着于被加工物的正面。分割装置具有：框架固定部(40)，其固定被加工物单元(9)的环状框架(8)；片材扩展单元，其在与被加工物(1)垂直的方向上按压扩展片(7)的环状区域(101)而使扩展片(7)扩展，从而使被加工物(1)断裂；加热单元(60)，其对扩展后的扩展片(7)的环状区域(101)进行加热而使该环状区域收缩；气体提供单元(70)，其在扩展片(7)的加热期间利用向被加工物(1)的正面提供的提供气体(150)来覆盖被加工物(1)的正面，将被加工物(1)与从扩展片(7)产生的产生气体(160)隔离；以及吸引排气单元(80)，其在被加工物(1)的外周对产生气体(160)和提供气体(150)进行吸引而排出。
申请人：株式会社迪思科
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京三友知识产权代理有限公司
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