专利名称：一种基于硅通孔的硅基集成低通滤波器专利类型：发明专利
发明人：尹湘坤,朱樟明,杨银堂,李跃进,丁瑞雪申请号：CN201610702743.2申请日：20160822公开号：CN106207334A公开日：20161207
摘要：本发明公开了一种基于硅通孔的硅基集成低通滤波器，该滤波器包括：顶层、中间层和底层，其中，顶层上有顶层金属互连线，其对称地绕成两个四边形平面螺旋结构，绕线方向相反且最外端连在一起，形成两个螺旋电感器；中间层上刻蚀有两对硅通孔，内填充有等高的金属柱，二者之间还填充有绝缘层，位于内侧的两个金属柱分别与前述两个螺旋电感器的中心端连接，中间层等效为两个柱形电容器；底层上有两根底层金属互连线，每对金属柱对应一根。顶层、中间层和底层叠加后，顶层的两个螺旋电感器与中间层的两个柱形电容器交叉排布，形成C‑L‑C‑C‑L‑C的等效电路结构，与现有的LC低通滤波器的结构相比，体积大幅减小，最大尺寸小于100um，方便与传统CMOS集成电路单片集成。
申请人：西安电子科技大学
地址：710071 陕西省西安市太白南路二号
国籍：CN
代理机构：北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙)
代理人：郭官厚
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