专利名称：喷淋头清洗装置专利类型：实用新型专利发明人：叶芷飞,梁秉文申请号：CN201120383309.5申请日：20111010公开号：CN202224377U公开日：20120523
摘要：本实用新型实施例提供一种喷淋头清洗装置，用于对喷淋头的表面进行清洗，包括：清洗刷，具有刷毛；清洗刷机械手，用于夹持和移动清洗刷，使得所述清洗刷和/或刷毛能够与喷淋头的表面进行相对运动，利用该相对运动清洗喷淋头的表面；吸附装置，用于吸附清洗过程中的污染物。本实用新型实施例解决了喷淋头的表面无法清洗的问题，避免喷淋头表面的污染物对下一次沉积工艺的影响。
申请人：光达光电设备科技(嘉兴)有限公司
地址：314300 浙江省嘉兴市海盐县盐北路211号科创园西区1号楼3楼
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：郑玮
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