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切割片及装置晶片的制造方法[发明专利]

来源:一二三四网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:切割片及装置晶片的制造方法专利类型:发明专利发明人:中西勇人,西田卓生申请号:CN201380040183.3申请日:20130502公开号:CN104508801A公开日:20150408

摘要:本发明提供,切割片1,其为即使装置相关部件的表面,特别是装置相关非平坦面部件的非平坦面为被着面的情形,亦可具有优良的粘着性的粘着剂层,且不容易发生基于粘着剂团聚物的异常的切割片,其包括:基材2;及粘着剂层3,其为层积于所述基材2的至少一个面的切割片1,粘着剂层3,为由含有丙烯酸类聚合物(A)及能量线聚合性化合物(B)的粘着剂组合物所形成者,所述粘着剂层的厚度为25μm以下,在于所述粘着剂层在于能量线照射之前的23℃的储存弹性模数为0.12MPa以下,且将所述粘着剂层3的根据JIS Z0237:2009进行的能量线照射前的保持力的测定试验所测定的保持时间为15000秒以上,亦提供使用该切割片1的装置晶片的制造方法。

申请人:琳得科株式会社

地址:日本东京都

国籍:JP

代理机构:北京路浩知识产权代理有限公司

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