专利名称：一种AlO空心球壳阵列的制备方法专利类型：发明专利发明人：张恒,刘昌,吴昊申请号：CN201811051213.1申请日：20180910公开号：CN109264664A公开日：20190125
摘要：本发明公开了一种AlO空心球壳阵列的制备方法，包括：(1)采用原子层沉积法在球模板或球阵列模板上沉积AlO薄膜；所述球模板为聚苯乙烯球或聚甲基丙烯酸甲酯球粉末；所述球阵列模板为附着于衬底上的单层或多层聚苯乙烯球或聚甲基丙烯酸甲酯球阵列；(2)对沉积了AlO薄膜的球模板或球阵列模板进行退火，或将沉积了AlO薄膜的球模板或球阵列模板放入有机溶剂中浸泡，去除球模板或球阵列模板，获得AlO空心球壳阵列。本发明具有重复性高、周期短、可大批量生产等优势；同时，本发明制备的AlO空心球壳阵列具有球壳厚度可精确控制、最大孔隙率可达95％以上等优势。
申请人：武汉大学
地址：430072 湖北省武汉市武昌区珞珈山武汉大学
国籍：CN
代理机构：武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：张火春
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