专利名称：一种锌镓氧材料薄膜及其制备方法专利类型：发明专利
发明人：陈星,刘可为,申德振,韩冬阳,张振中,李炳辉申请号：CN201911267960.3申请日：20191211公开号：CN110923666A公开日：20200327
摘要：本发明提供了一种锌镓氧材料薄膜，所述锌镓氧材料薄膜中锌与镓的原子比大于1:2，所述锌镓氧材料薄膜为尖晶石结构。锌和镓的原子比例与传统的1：2相比，镓原子的占比更低，当Zn和Ga的化学计量比发生变化时，在一定范围内形成ZnGaO材料仍然可以保持尖晶石的ZnGaO晶体结构。这种锌镓氧材料薄膜在不改变其他性能参数的前提下，有效缩短ZnGaO紫外探测器的响应时间。在光电器件的制备方面具有潜在的应用前景。并且，本发明提供的锌镓氧材料薄膜的制备工艺简单，反应过程容易控制。
申请人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
地址：130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：任美玲
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