专利名称：一种光滑反射表面的合成孔径数字全息三维显微观
测装置
专利类型：发明专利
发明人：肖文,潘锋,王璠璟,伊小素,刘烁,戎路申请号：CN201010280758.7申请日：20100914公开号：CN102278952A公开日：20111214
摘要：本发明公开了一种光滑反射表面的合成孔径数字全息三维显微观测装置，该装置包括有光源、分光单元、空间滤波器、平凸透镜、平面反射镜、消偏振分光棱镜、光束调整器、旋转载物台、CMOS相机；本发明装置的光路为：光源出射的激光入射至分光单元中，经分光单元进行分光处理后输出照明光、参考光；两束光分别顺次经空间滤波器、平凸透镜进行扩束、整形；照明光经反射镜反射输出平行光透过消偏振分光棱镜，斜入射至旋转载物台上的观测目标的表面，物表面的反射光再入射至消偏振分光棱镜；参考光的角度和位置由光束调整器调整，也入射至消偏振分光棱镜；消偏振分光棱镜对入射的参考光、物光进行合光处理，得到合并光束，该合并光束形成的干涉全息图被CMOS相机的光敏面捕获。在获取中，通过旋转载物台的旋转，多次调整照明光的入射角度，得到包含有不同频率分量的物表面全息图，再进行融合，实现合成孔径数字全息三维显微观测。
申请人：北京航空航天大学
地址：100191 北京市海淀区学院路37号
国籍：CN
代理机构：北京永创新实专利事务所
代理人：李有浩
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