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高纯砷的脱氧装置及方法[发明专利]

来源:一二三四网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:高纯砷的脱氧装置及方法专利类型:发明专利

发明人:曾小东,刘留,朱刘,郭金伯,陈昭龙申请号:CN201711241192.5申请日:20171130公开号:CN107881351A公开日:20180406

摘要:本发明提出一种高纯砷的脱氧装置,所述脱氧装置包括一脱氧炉,所述脱氧装置还包括与脱氧炉共用一舱门的一手套箱、与脱氧炉通过一气流管道连接的一真空泵以及与真空泵通过气流管道连接的一尾气处理装置,所述脱氧炉与真空泵之间设有一除尘器,所述脱氧炉包括炉体、包覆在炉体外的一加热套以及一进气管,所述炉体两侧包括可开关的第一舱门和第二舱门,所述第一舱门为脱氧炉、手套箱共用,所述除尘器通过另一气流管道与尾气处理装置直接连接。采用本发明高纯砷的脱氧装置及方法,所制备得到的高纯砷的分析结果显示,脱氧后产品氧含量小于1ppm,达到产品要求,所制备得到的脱氧后高纯砷在手套箱中完成包装,颜色呈现闪亮的金属光泽。

申请人:广东先导先进材料股份有限公司

地址:511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9B

国籍:CN

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