专利名称：一种新型半熔法多晶硅铸锭用保温装置专利类型：实用新型专利
发明人：张翔,周绪成,张兆玉,罗建明,张欣申请号：CN201621261049.3申请日：20161111公开号：CN206345943U公开日：20170721
摘要：本实用新型公开了一种新型半熔法多晶硅铸锭用保温装置，它为一用于安装在多晶硅铸锭炉内底部保温板上的框体，框体采用保温材料制成，框体位于保温板的中部，且框体的中轴线和保温板的中轴线位于同一直线上，框体处于用于承托坩埚的热交换块的正下方，热交换块的支柱位于框体内，坩埚的投影线从上方射向下方的正投影区域被围括在框体中。本实用新型可提高硅锭质量和产量，而且可以连续使用，操作方便，降低了材料的损耗和工时。使用本实用新型不会影响热场中其他部件的完整性，不存在安全性风险，不使用时可方便移除，便于不同铸锭工艺的切换，也可与其他籽晶保护方案同时应用。对于提高半熔法多晶硅铸锭产品质量、降低成本具有重要意义。
申请人：晶海洋半导体材料(东海)有限公司
地址：222300 江苏省连云港市东海县经济开发区西区(铁路南侧、湖东路东侧)
国籍：CN
代理机构：广州知友专利商标代理有限公司
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